一种碳化硅长晶设备
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
摘要
本申请涉及一种碳化硅长晶设备,属于晶体生长设备领域。该碳化硅长晶设备包括:石墨坩埚,所述石墨坩埚内相对设置用于装载原料的装料桶和籽晶,所述装料桶包括至少一个气体出口,所述装料桶可通过调节机构向籽晶方向往复移动;加热装置,通过感应加热方式加热石墨坩埚使得升华原料从气体出口流出后气相传输至籽晶表面长晶;以及保温结构,所述石墨坩埚设置在保温结构腔内,用于控制石墨坩埚散热;炉体,所述保温结构设置在炉体内,所述加热装置环绕设置在炉体外。该碳化硅长晶设备可精确自动控制装料桶在热场中的位置,长晶环境稳定,生长的晶体的质量高,可充分挥发长晶原料,提高了长晶原料的利用率,节约了生产成本。
基本信息
专利标题 :
一种碳化硅长晶设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201920584271.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-04-26
授权号 :
CN210596323U
授权日 :
2020-05-22
发明人 :
刘星刘鹏飞窦文涛梁庆瑞梁晓亮张红岩刘圆圆
申请人 :
山东天岳先进材料科技有限公司
申请人地址 :
山东省济南市高新区新宇路西侧世纪财富中心AB座1106-6-01
代理机构 :
济南千慧专利事务所(普通合伙企业)
代理人 :
赵长林
优先权 :
CN201920584271.4
主分类号 :
C30B29/36
IPC分类号 :
C30B29/36 C30B23/02
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C30
晶体生长
C30B
单晶生长;共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层;材料的区熔精炼;具有一定结构的均匀多晶材料的制备;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料;单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理;其所用的装置
C30B29/00
以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料
C30B29/10
无机化合物或组合物
C30B29/36
碳化物
法律状态
2020-12-18 :
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
IPC(主分类) : C30B 29/36
变更事项 : 专利权人
变更前 : 山东天岳先进材料科技有限公司
变更后 : 山东天岳先进科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 250100 山东省济南市高新区新宇路西侧世纪财富中心AB座1106-6-01
变更后 : 250118 山东省济南市槐荫区天岳南路99号
变更事项 : 专利权人
变更前 : 山东天岳先进材料科技有限公司
变更后 : 山东天岳先进科技股份有限公司
变更事项 : 地址
变更前 : 250100 山东省济南市高新区新宇路西侧世纪财富中心AB座1106-6-01
变更后 : 250118 山东省济南市槐荫区天岳南路99号
2020-05-22 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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