一种石英舟插片方法和取片方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种石英舟插片方法和取片方法，所述石英舟插片方法包括以下步骤：提供一种倾斜式石英舟，所述倾斜式石英舟包括左侧板、右侧板和连接左侧板、右侧板的若干横杆，横杆采用与水平方向倾斜设置，上横杆与下横杆的相对表面上开设有连续的卡槽；利用抓手夹持左右定位柱，将所述倾斜式石英舟以垂直于侧板方向为轴自身旋转90°，放置到护板上，利用垫位件对所述倾斜式石英舟进行调整，将倾斜式石英舟的横杆摆正，机械手从竖直方向上向所述倾斜式石英舟上插片；插片完成后，在所述倾斜式石英舟的上方也放置护板，然后反向旋转90°，撤下护板。本发明巧妙利用倾斜式石英舟和垫位件的配合，从竖直方向直接插片和取片，效率高且安全可靠。
基本信息
专利标题 ：
一种石英舟插片方法和取片方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114551638A
申请号 ：
CN202210069389.X
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-01-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
陈庆敏李丙科张海洋
申请人 ：
无锡松煜科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省无锡市新吴区环普路9号11号厂房
代理机构 ：
江苏漫修律师事务所
代理人 ：
熊启奎
优先权 ：
CN202210069389.X
主分类号 ：
H01L31/18
IPC分类号 ：
H01L31/18 H01L21/677
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20220121
申请日 : 20220121
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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