一种自动插片的方形石英舟
授权
摘要
本实用新型公开了一种自动插片的方形石英舟，包括2个上舟杆、2个下舟杆和固定板，所述固定板的上方设置有2个上舟杆，所述上舟杆的下方相对应的设置有2个下舟杆，所述上舟杆上设置有插片槽，所述插片槽的两侧设置有相机识别齿条，所述相机识别齿条的每一个齿为长方形的，所述相机识别齿条的一侧设置有方向识别槽。本实用新型所提供的一种自动插片的方形石英舟有益效果为：实现了石英舟可以自动化插片，不需要在进行手工插片，提高了插片的工作效率，安全性好，硅片不容易损坏。固定板上设置有弹性杆，增加了石英舟的弹性，同时使石英舟也不容易损坏。
基本信息
专利标题 ：
一种自动插片的方形石英舟
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921113425.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-07-16
授权号 ：
CN210223971U
授权日 ：
2020-03-31
发明人 ：
张之怡汤芳常永喜
申请人 ：
苏州浩锐石英科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市吴江区震泽镇大船港村
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921113425.8
主分类号 ：
H01L21/673
IPC分类号 ：
H01L21/673
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/673
使用专用的载体的
法律状态
2020-03-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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