一种测试重掺硅单晶寿命的测试系统及快速检测方法
公开
摘要
本发明公开了一种测试重掺硅单晶寿命的测试系统及快速检测方法，包括恒温测试箱，恒温测试箱内腔的上下两侧通过密封隔板分为试验腔和元件腔，本发明涉及重掺硅单晶测试技术领域。该测试重掺硅单晶寿命的测试系统及快速检测方法，通过在净化箱的内部错位设置多组分流板，并通过通口形成S型流腔，净化流道增长，氮氧化合物气体进入到催化箱之后，经过S型流腔内的多组催化盒，并通过在催化盒内填充的还原剂和吸附剂，使得催化箱内部的氮氧化合物气体可以经过多次催化处理，有效的提高了对氮氧化合物气体的净化效果，进而避免重掺硅单晶寿命的检测过程中，氮氧化合物气体直接排放会污染环境，且对于操作人员产生危害的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种测试重掺硅单晶寿命的测试系统及快速检测方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114563332A
申请号 ：
CN202210078584.9
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2022-01-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
祁海滨冉泽平李金波倪浩然
申请人 ：
杭州中欣晶圆半导体股份有限公司;宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司
申请人地址 ：
浙江省杭州市钱塘新区东垦路888号
代理机构 ：
杭州融方专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
沈相权
优先权 ：
CN202210078584.9
主分类号 ：
G01N17/00
IPC分类号 ：
G01N17/00 G01N21/84
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01N
借助于测定材料的化学或物理性质来测试或分析材料
G01N17/00
测试材料的耐气候，耐腐蚀，或耐光照性能
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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