一种光刻胶涂胶效果判定方法
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种光刻胶涂胶效果判定方法,包括以下步骤:照片拍摄、照片处理、视频处理和结果判定。本发明将拍摄到的视频逐帧进行分解得到单张照片,然后将单张照片和拍摄到的照片依次进行预处理、降噪和灰度化处理,将灰度图片的像素数据转化为矩阵并计算相似度,最终通过比较相似度的方式来判断涂胶的效果,能够通过数字较为准确的判断出涂胶的效果,而且照片经过预处理和降噪处理后结果误差较小,提高了最终晶圆的产品质量。

基本信息
专利标题 :
一种光刻胶涂胶效果判定方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114419010A
申请号 :
CN202210081119.0
公开(公告)日 :
2022-04-29
申请日 :
2022-01-24
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
王阳胡延兵李冬海罗宗祥
申请人 :
芯达半导体设备(苏州)有限公司
申请人地址 :
江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道88号人工智能产业园C2-202单元
代理机构 :
成都华复知识产权代理有限公司
代理人 :
任丽娜
优先权 :
CN202210081119.0
主分类号 :
G06T7/00
IPC分类号 :
G06T7/00  G06T5/00  G02B21/36  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G06
计算;推算或计数
G06T
一般的图像数据处理或产生
G06T7/00
图像分析
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G06T 7/00
申请日 : 20220124
2022-04-29 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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