一种全有机低介电聚酰亚胺复合薄膜及其制备方法和应用
实质审查的生效
摘要
本发明提供了一种全有机低介电聚酰亚胺复合薄膜及其制备方法和应用，属于微电子技术领域，包括：将氨基单体、氟弹性体、联苯四甲酸二酐和溶剂混合，进行聚合反应，得到聚酰胺酸复合溶液，再进行酰胺化处理，得到聚酰亚胺复合薄膜；所述氟弹性体中六氟丙烯的质量含量为20～50％。本发明在聚合过程中添加氟弹性体，能够使氟弹性体更为均匀的分散在复合薄膜中，控制氟弹性体中六氟丙烯的质量含量，能够降低复合薄膜的介电常数，同时保持较好的热稳定性。实施例的结果显示，本发明制备的聚酰亚胺复合薄膜在100Hz频率时的介电常数可从3.3降低至1.3，106Hz时介电常数可低至1.27，同时，复合薄膜的玻璃化转变温度在300℃以上。
基本信息
专利标题 ：
一种全有机低介电聚酰亚胺复合薄膜及其制备方法和应用
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114479458A
申请号 ：
CN202210082586.5
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-01-24
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
查俊伟董晓迪郑明胜
申请人 ：
北京科技大学
申请人地址 ：
北京市海淀区学院路30号
代理机构 ：
北京市广友专利事务所有限责任公司
代理人 ：
张仲波
优先权 ：
CN202210082586.5
主分类号 ：
C08L79/08
IPC分类号 ：
C08L79/08 C08L27/12 C08J5/18 C08G73/10
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C08
有机高分子化合物；其制备或化学加工；以其为基料的组合物
C08L
高分子化合物的组合物
C08L79/00
不包括在C08L61/00至C08L77/00组内的，由只在主链中形成含氮的，有或没有氧或碳键的反应得到的高分子化合物的组合物
C08L79/04
在主链中具有含氮杂环的缩聚物；聚酰肼；聚酰胺酸或类似的聚酰亚胺母体
C08L79/08
聚酰亚胺；聚酯-酰亚胺；聚酰胺-酰亚胺；聚酰胺酸或类似的聚酰亚胺母体
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C08L 79/08
申请日 : 20220124
申请日 : 20220124
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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