本发明公开了一种降低碎片率的单晶硅片脱胶工装制具，包括定位端板、定位滑槽、压缩弹簧、限位端头、定位夹杆、支撑连接杆、滑动定位头、滑动槽、底部托杆、紧固装置、转动头、紧固连接线、支撑移动杆、定位卡接头，所述滑动定位头包括滑块、滑动卡接头，所述紧固装置包括紧固底座、穿线孔、紧固按压头。采用本发明上述结构设置后：定位夹杆在定位滑槽内容易移动，不会出现卡顿现象，无需进行手动拨回工作，有效减少了工作量，有效提高了工作效率；大幅度降低了单晶硅片脱胶时的碎片率；能够有效杜绝晶托产生移动或脱落的技术问题。