一种晶托脱胶工装及脱胶系统
授权
摘要
本申请提供一种晶托脱胶工装及脱胶系统，晶托脱胶工装用于对晶托进行承载固定，晶托包括晶托基板和两个突出部，两个突出部分别突出设置于晶托基板的两端。晶托脱胶工装包括工装本体和两个固定装置，工装本体包括支架，支架具有第一端和第二端。每个固定装置包括固定件和间隔设置于固定件上的两个凸起件，两个凸起件之间形成固定槽。一个固定件设置于支架的第一端，另一个固定件设置于支架的第二端，两个固定槽分别承载固定两个突出部。而脱胶系统则包括晶托及晶托脱胶工装。固定槽将突出部进行承载固定，避免晶托发生相对运动，降低由于晶托碰撞脱胶工装而导致晶托及晶托脱胶工装损坏的风险，提高硅片的良品率。
基本信息
专利标题 ：
一种晶托脱胶工装及脱胶系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122051388.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-08-27
授权号 ：
CN216329270U
授权日 ：
2022-04-19
发明人 ：
陈日强韩士岭马菲
申请人 ：
通合新能源（金堂）有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市金堂县淮口镇金乐路东段888号
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
付兴奇
优先权 ：
CN202122051388.6
主分类号 ：
B28D7/00
IPC分类号 ：
B28D7/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B28
加工水泥、黏土或石料
B28D
加工石头或类似石头的材料
B28D7/00
专门适用于与本小类其他各组的机械或其装置一起使用的附件
法律状态
2022-04-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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