硅片脱胶处理方法、处理系统及脱胶装置
公开
摘要
本申请实施例提供一种硅片脱胶处理方法、处理系统及脱胶装置，其中，方法包括：获取硅片粘胶面的硅片图像；根据硅片图像确定硅片的粘胶面是否存在残胶；当存在残胶时，控制擦胶机械手机构对硅片粘胶面上的残胶进行擦除。本申请实施例提供的硅片脱胶处理方法、处理系统及脱胶装置能够在初步脱胶之后对硅片粘胶面进行进一步擦胶，以去除残胶。
基本信息
专利标题 ：
硅片脱胶处理方法、处理系统及脱胶装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114570684A
申请号 ：
CN202210387247.8
公开（公告）日 ：
2022-06-03
申请日 ：
2022-04-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
丁海军张爱鑫邢旭谢胜伟
申请人 ：
乐山高测新能源科技有限公司
申请人地址 ：
四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号101幢1-2层
代理机构 ：
北京科慧致远知识产权代理有限公司
代理人 ：
宋珊珊
优先权 ：
CN202210387247.8
主分类号 ：
B08B1/00
IPC分类号 ：
B08B1/00 B08B13/00 H01L21/02 B07C5/34
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B1/00
利用工具，刷子或类似工具的清洁方法
法律状态
2022-06-03 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
