脱胶装置
公开
摘要
本申请实施例提供一种脱胶装置，包括：硅片作业线；所述硅片作业线依次设置有脱胶工位和擦胶工位；所述脱胶工位用于对盛装在工装篮内的硅片和晶托组件进行脱胶，以使硅片与晶托组件分离；所述擦除工位用于进一步擦除硅片上的残胶；晶托回收线；所述晶托回收线旁设有厚片拆除工位；所述厚片拆除工位用于将晶托组件上粘附的厚片进行拆除；输送机械手机构，用于抓取工装篮并驱动工装篮在硅片作业线上移动，及抓取脱胶完成后的粘附有厚片的晶托组件、驱动晶托组件移动至厚片拆除工位、以及在厚片拆除后将晶托组件放于晶托回收线进行回收。本申请实施例提供的脱胶装置能够实现自动脱胶、擦胶及拆卸厚片。
基本信息
专利标题 ：
脱胶装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114602917A
申请号 ：
CN202210387253.3
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-04-14
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
丁海军邢旭兰勇刚
申请人 ：
乐山高测新能源科技有限公司
申请人地址 ：
四川省乐山市五通桥区竹根镇永祥路100号101幢1-2层
代理机构 ：
北京科慧致远知识产权代理有限公司
代理人 ：
宋珊珊
优先权 ：
CN202210387253.3
主分类号 ：
B08B11/00
IPC分类号 ：
B08B11/00 B08B11/02 B08B1/00 B08B1/04 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B11/00
专门适用于清洁柔韧的或精致的物品的方法或装置
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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