一种石墨烯压力传感器及其制作方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种石墨烯压力传感器的制作方法,包括a)制作传感器芯片;b)制作封装基板,c)通过Cu‑Sn固液扩散键合完成传感器芯片和封装基板的键合;一种石墨烯压力传感器,包括传感器结构和封装基板,敏感结构与封装基板键合连接,传感器结构包括硅基底,硅基底上设有第一绝缘层,第一绝缘层两侧埋藏有金属电极,衬底的背面设置有氮化硅弹性膜片,氮化硅弹性膜片上设置有石墨烯敏感结构,第一绝缘层两侧设置有与封装基板相键合的密封环和凸点;封装基板包括硅衬底硅,衬底上设有第二绝缘层,第二绝缘层两侧沟道内设有电极,第三绝缘层的两侧设置有密封环和键合凸点。本发明实现了高量程和对石墨烯进行了保护,解决了寿命短和器件不稳定的问题。
基本信息
专利标题 :
一种石墨烯压力传感器及其制作方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114459637A
申请号 :
CN202210098863.1
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2022-01-27
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
李悦陆剑张清芮磊吴晓东
申请人 :
江苏奥力威传感高科股份有限公司
申请人地址 :
江苏省扬州市邗江区高新技术产业开发区祥园路158号
代理机构 :
南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 :
董旭东
优先权 :
CN202210098863.1
主分类号 :
G01L1/00
IPC分类号 :
G01L1/00 G01L9/00 C23C14/04 C23C14/18 C23C14/35 C23C16/04 C23C16/34 C23C16/50 C23C16/56 C23C28/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 1/00
申请日 : 20220127
申请日 : 20220127
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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