一种基于石墨烯的耐辐照压力传感器
实质审查的生效
摘要
本发明属于压力传感器技术领域,具体涉及一种基于石墨烯的耐辐照压力传感器,包括陶瓷端盖、第一密封圈、第二密封圈、陶瓷弹性膜片、基板、封装外壳和检测单元,所述封装外壳的顶部设置有陶瓷端盖,所述封装外壳内部设置有陶瓷弹性膜片,所述陶瓷弹性膜片分别通过第一密封圈和第二密封圈与陶瓷端盖连接,所述封装外壳内部的底面上设置有基板,所述基板上设置有检测单元。本发明在原有基于石墨烯薄膜的压力传感器基础上,利用陶瓷端盖和陶瓷弹性膜片替代其他金属材料或者半导体材料,并且通过密封圈将弹性膜片与端盖配合起来,形成密闭内部空间,实现了高辐照环境下的压力测量。
基本信息
专利标题 :
一种基于石墨烯的耐辐照压力传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114544063A
申请号 :
CN202210163766.6
公开(公告)日 :
2022-05-27
申请日 :
2022-02-22
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
曹咏弘康裕李孟委
申请人 :
中北大学
申请人地址 :
山西省太原市尖草坪区学院路3号
代理机构 :
太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
连慧敏
优先权 :
CN202210163766.6
主分类号 :
G01L9/06
IPC分类号 :
G01L9/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L9/00
用电或磁的压敏元件测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力;用电或磁的方法传递或指示机械压敏元件的位移,该机械压敏元件是用来测量流体或流动固体材料的稳定或准稳定压力的
G01L9/02
利用改变欧姆电阻值的,例如,使用电位计
G01L9/06
压电电阻器件的
法律状态
2022-06-14 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01L 9/06
申请日 : 20220222
申请日 : 20220222
2022-05-27 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载