一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器
授权
摘要
本发明属于压力和温度检测技术领域,具体涉及一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器,包括石墨烯敏感层、第一柔性基板、第二柔性基板、第一类叉指形硬化图案层、第二类叉指形硬化图案层、第一复合电极、第二复合电极、互连组件,所述第一类叉指形硬化图案层设置在石墨烯敏感层的上方,所述第二类叉指形硬化图案层设置在石墨烯敏感层的下方,所述第一柔性基板设置在第一类叉指形硬化图案层的上方,所述第二柔性基板设置在第二类叉指形硬化图案层的下方。本发明的结构与已有基础结构相比,优化了设计、减少规格种类,有效地提高了结构的通用性、灵敏性、准确性和稳定性。本发明用于压力和温度的检测。
基本信息
专利标题 :
一种柔性的石墨烯压力与温度复合传感器
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112857435A
申请号 :
CN202011614349.6
公开(公告)日 :
2021-05-28
申请日 :
2020-12-31
授权号 :
CN112857435B
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
王俊强刘小飞刘丽丽李孟委
申请人 :
中北大学
申请人地址 :
山西省太原市尖草坪区学院路3号
代理机构 :
太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 :
杨凯
优先权 :
CN202011614349.6
主分类号 :
G01D21/02
IPC分类号 :
G01D21/02 G01K7/16 G01L1/14 G01L1/26 A61B5/02 A61B5/01
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01D
非专用于特定变量的测量;不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置;计费设备;非专用于特定变量的传输或转换装置;未列入其他类目的测量或测试
G01D21/00
未列入其他类目的测量或测试
G01D21/02
用不包括在其他单个小类中的装置来测量两个或更多个变量
法律状态
2022-05-17 :
授权
2021-06-15 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01D 21/02
申请日 : 20201231
申请日 : 20201231
2021-05-28 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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