一种基于石墨烯压阻效应的压力传感器
授权
摘要
本实用新型公开了一种基于石墨烯压阻效应的压力传感器，包括高阻硅衬底，高阻硅衬底上方设有二氧化硅氧化层，二氧化硅氧化层中部刻蚀正三棱柱空腔，空腔上覆盖三角形石墨烯薄膜，石墨烯薄膜层数为1到3层，在正三棱柱顶面边长两端点处刻蚀金属电极。当石墨烯薄膜受到应力或薄膜内外有气压差时，石墨烯发生形变，根据石墨烯压阻效应，电阻发生变化，通过检测石墨烯电阻，从而实现压力或气压差的检测。该系统结构新颖，可应用于山体缝隙等体积较小的复杂环境，测量幅度范围大，具有较高稳定性和极高灵敏度，尺寸小，易于集成，适用范围广。
基本信息
专利标题 ：
一种基于石墨烯压阻效应的压力传感器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921532520.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-09-16
授权号 ：
CN210464750U
授权日 ：
2020-05-05
发明人 ：
李方清王新国王德波
申请人 ：
南京邮电大学
申请人地址 ：
江苏省南京市亚东新城区文苑路9号
代理机构 ：
南京正联知识产权代理有限公司
代理人 ：
张玉红
优先权 ：
CN201921532520.1
主分类号 ：
G01L1/18
IPC分类号 ：
G01L1/18 G01L13/06
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01L
测量力、应力、转矩、功、机械功率、机械效率或流体压力
G01L1/00
力或应力的一般计量
G01L1/18
利用压电电阻材料的性质，即材料的欧姆电阻随作用于材料上的力的大小或方向的改变而变化的性质
法律状态
2020-05-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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