本申请具体涉及在银币表面制备二氧化硅膜的方法、二氧化硅膜和银币，属于原子层沉积领域，包括步骤：前驱体沉积：将第一前驱体沉积在衬底表面，得到沉积膜；前驱体反应：将第二前驱体与所述沉积膜进行反应，得到二氧化硅层；循环进行所述前驱体沉积和所述前驱体反应，直至所述二氧化硅层的厚度达到目标厚度，得到二氧化硅膜；其中，所述第二前驱体包括含硅前驱体和含氧前驱体。通过首先在衬底上沉积第一前驱体，得到沉积膜，然后再将含氧前驱体和含硅前驱体与沉积膜反应，得到二氧化硅层，多次循环沉积后得到二氧化硅膜，二氧化硅膜硬度高，耐磨性强，进而沉积在银币表面时使得银币表面耐磨性强。