一种晶圆水平清洗装置及清洗方法
公开
摘要
本发明涉及晶圆清洗技术领域，且公开了一种晶圆水平清洗装置，包括底板，所述底板的顶部固定连接有U形框和水箱，所述底板的顶部固定连接有外语U形框内腔的翻转机构，所述U形框内腔的左右两侧均转动连接有与翻转机构啮合的夹紧组件。该晶圆水平清洗装置及清洗方法，通过夹紧组件将晶圆夹紧固定后，同时启动刷洗机构和冲洗机构来对晶圆进行清洗，待晶圆其中的一面被清洗完后，启动翻转机构即可带动两个夹紧组件进行旋转，夹紧组件旋转的同时向上挤压刷洗机构，使得晶圆不会与刷洗机构发生磕碰，晶圆翻转180度后停止翻转机构，再次通过刷洗机构和冲洗机构来对晶圆的另一面进行清洗，实现了晶圆水平清洗装置高效清洗的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆水平清洗装置及清洗方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114589182A
申请号 ：
CN202210113718.6
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-01-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
钱诚李刚周志勇
申请人 ：
江苏亚电科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省泰州市姜堰区三水街道科技大道151号
代理机构 ：
北京商专润文专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
陈平
优先权 ：
CN202210113718.6
主分类号 ：
B08B11/02
IPC分类号 ：
B08B11/02 B08B1/00 B08B1/04 B08B3/02 B08B13/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B08
清洁
B08B
一般清洁；一般污垢的防除
B08B11/00
专门适用于清洁柔韧的或精致的物品的方法或装置
B08B11/02
清洁时抓住物品的装置
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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