基于二维材料薄膜等离激元增强高灵敏红外探测器
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种基于二维材料薄膜等离激元增强高灵敏红外探测器，利用成熟的现代微加工技术进行器件制备。主要将其感光单元设为光吸收层、介质层和导电层的夹层结构，这种垂直的夹层构架探测过程中具有暗电流小、探测率高、响应速度快以及集成度提高的特点；尤其是光吸收层采用石墨烯薄膜或魔角石墨烯薄膜材料制成平行纳米条带阵列，魔角石墨烯薄膜提供了电中性点近零色散的平带，大大提高了材料吸收效率，纳米条带的等离激元效应能进一步提高共振吸收以及波段选择性，有效增强在3～18μm波段的吸收；通过本发明实现的红外探测器满足检测细胞、分子、原子以及材料吸收和荧光分析，将会广泛应用于生物医学、环境卫生、智能器件等领域。
基本信息
专利标题 ：
基于二维材料薄膜等离激元增强高灵敏红外探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114497101A
申请号 ：
CN202210128778.5
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-02-11
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
王肖沐王军转刘媛苏欣黄天烨施毅
申请人 ：
南京大学
申请人地址 ：
江苏省南京市栖霞区仙林大道163号
代理机构 ：
南京乐羽知行专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
李培
优先权 ：
CN202210128778.5
主分类号 ：
H01L27/146
IPC分类号 ：
H01L27/146
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 27/146
申请日 : 20220211
申请日 : 20220211
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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