一种基于等离激元增强的石墨烯中红外光探测器
授权
摘要
一种基于等离激元增强的石墨烯中红外光探测器，属于中红外光探测技术领域。本实用新型包括包括自下而上依次层叠设置的硅衬底、二氧化硅层、石墨烯微纳阵列和介质层；所述石墨烯微纳阵列和介质层位于二氧化硅层中间位置；所述二氧化硅层和介质层表面覆盖有石墨烯层；所述石墨烯层两侧分别设置有电极一和电极二。使用该结构制造的红外探测器，光电转换效率大大提升，制备方法简单，与现有硅工艺相兼容，克服传统以碲镉汞、锑化铟等红外探测器持续低温制冷、能耗高和信号弱等问题，运行性价比大幅提高。
基本信息
专利标题 ：
一种基于等离激元增强的石墨烯中红外光探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020769911.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-05-11
授权号 ：
CN212161827U
授权日 ：
2020-12-15
发明人 ：
满锦梦
申请人 ：
深圳激子科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区南山街道东滨路永新时代广场2号楼5层5241室
代理机构 ：
北京轻创知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘红阳
优先权 ：
CN202020769911.1
主分类号 ：
H01L31/0232
IPC分类号 ：
H01L31/0232 H01L31/09 G02B5/00 B82Y40/00
法律状态
2020-12-15 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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