一种基于声子激元增强的石墨烯中红外光探测器
授权
摘要
一种基于声子激元增强的石墨烯中红外光探测器，属于中红外光探测技术领域。本实用新型包括自下而上依次层叠设置的硅衬底、二氧化硅层、石墨烯层以及覆盖在石墨烯层上的三氧化钼微纳结构阵列；三氧化钼微纳结构阵列与石墨烯层形成声子激元增强的异质结构；石墨烯层边缘上方设置有电极，电极延伸到三氧化钼微纳结构阵列与石墨烯层重叠区域。为解决上述技术问题，本实用新型实现了在中红外波段具有大幅提升的光电转换效率，制备方法简单，而且成本低的目的。
基本信息
专利标题 ：
一种基于声子激元增强的石墨烯中红外光探测器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201920472001.4
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-04-09
授权号 ：
CN209981235U
授权日 ：
2020-01-21
发明人 ：
鲍小志马玮良欧清东
申请人 ：
深圳激子科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区南山街道东滨路永新时代广场2号楼5层5241室
代理机构 ：
北京轻创知识产权代理有限公司
代理人 ：
谈杰
优先权 ：
CN201920472001.4
主分类号 ：
H01L31/0264
IPC分类号 ：
H01L31/0264 H01L31/09
法律状态
2020-01-21 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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