本发明涉及单晶硅加工技术领域，具体为一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构。一种单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，包括前阀体、后阀体、阀板、第一驱动气缸、第二驱动气缸和外壳，所述前阀体的侧面固定安装有后阀体，前阀体的内部安装有阀板，前阀体的上方固定安装有真空接口，前阀体和后阀体之间安装有锁紧套，前阀体的前端固定安装有检测视窗，所述阀板的侧面固定设置有阀臂。本发明的有益效果是：该单晶硅椭圆形旋片隔离阀机构，在现有的基础上进行改进，利用前阀体和后阀体使得该装置的安装空间能得到充分利用，设备结构更加紧凑，同等条件厂房中可以布局更多数量的设备，提高拉晶产能。