本发明涉及一种硅基磷酸酯的制备方法。包括如下步骤：将二硅氮烷类化合物、环状内胺类化合物A和有机碱混合，进行预反应，再加入无机磷酸盐，混合反应，制备所述硅基磷酸酯；并具体限定了二硅氮烷类化合物、环状内胺类化合物A的种类。本发明通过采用二硅氮烷类化合物、环状内胺类化合物A与有机碱、无机磷酸盐反应制备硅基磷酸酯，制备过程无需进行中间体的分离纯化，可实现一锅法制备硅基磷酸酯，步骤简便，并且该方法能够在无溶剂条件下进行，避免了使用有机溶剂带来的危害以及后续处理问题，对设备无腐蚀，采用二硅氮烷类化合物可避免产生卤素盐类的问题，进而更好地避免对电池性能产生不利的影响。