本发明提供了一种基于槽式清洗机的气流增强装置，于清洗机正对清洗槽顶部的进风口设置扰流装置，通过扰流装置对晶圆传输移动控制装置对应的机械工位区域内的气体涡流死区形成气流扰动；同时设置了爬坡温控装置和局部涡流排挤装置能够进一步消除涡流的形成，让有害气体回到理想的排出气流路径。同时本发明提供了一种基于槽式清洗机的气态流体增强的方法，采用上述装置实现。与现有技术相比，本发明的有益效果是：在不增加通风量的前提下，通过设置的扰流装置，能够有效增强柜体内空气的流动，对涡流死区进行扰动干涉，避免有害气体的聚集，保障晶圆清洗环境的洁净，延长设备使用寿命，同时提高了晶圆的制造良率。