本发明提供了一种用于半导体制造流程的动态监控方法及系统，其方法包括：确定待制造半导体，并从制造流程数据库中调取待制造半导体的制造流程，并获取制造流程中的制造指标；按照制造指标对待制造半导体相关的历史制造数据进行类型分析，得到每个制造指标的历史数据集，并基于数据分析模型，确定对应制造指标存在的制造异常事件；确定对应异常指标在制造流程中的贯穿流程线，并基于制造异常事件确定贯穿流程线中的异常线程段，并构建异常线程段的异常监控集合；将异常监控集合以及正常监控集合，构建待制造半导体的动态监控集合，实现对待制造半导体在制造过程中的动态监控。通过异常分析，确定异常线程段，并设置监控集合，实现有效动态监控。