一种绝对式六自由度光栅编码器
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种绝对式六自由度光栅编码器，包括由光源模块产生的准直光束，经PBS产生光束L1和L2，所述光束L2首先通过复合光栅分光模块分光为光束L2‑1、L2‑2和L2‑3，光束L2‑1利用复合光栅的二维光栅区域产生衍射光，所述衍射光经绝对式四自由度测量模块测量出复合光栅的θx,θy,θz及z方向绝对位姿，所述L2‑2和L2‑3两光束分别通过X和Y向掩膜版进入参考码道，所述掩膜版与参考码道拥有同样的编码，在码道对齐时会产生负向脉冲，以此标记零位。光束L2‑1衍射产生的光束，与光束L1在二维参考光栅产生的光束产生干涉现象，并由绝对式二自由度测量模块接收，解析x和y方向的相位变化进而得到位移增量信息，耦合负向脉冲的标记得到其绝对位姿。
基本信息
专利标题 ：
一种绝对式六自由度光栅编码器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114459516A
申请号 ：
CN202210155113.3
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2022-02-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李星辉汪盛通
申请人 ：
清华大学深圳国际研究生院
申请人地址 ：
广东省深圳市南山区西丽街道深圳大学城清华校区A栋二楼
代理机构 ：
深圳新创友知识产权代理有限公司
代理人 ：
江耀纯
优先权 ：
CN202210155113.3
主分类号 ：
G01D5/38
IPC分类号 ：
G01D5/38
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01D
非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试
G01D5/00
用于传递传感构件的输出的机械装置；将传感构件的输出变换成不同变量的装置，其中传感构件的形式和特性不限制变换装置；非专用于特定变量的变换器
G01D5/26
采用光学装置，即应用红外光、可见光或紫外光
G01D5/32
利用光束的减弱或者全部或局部的闭塞
G01D5/34
利用光电元件检测光束
G01D5/36
将光线形成脉冲
G01D5/38
用衍射光栅
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01D 5/38
申请日 : 20220221
申请日 : 20220221
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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