高压差分束源气室及利用其产生高能极紫外光子的方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种高压差分束源气室及利用其产生高能极紫外光子的方法。本发明的高压差分束源气室包括：外部气室、内部气室以及三维线性平移台14，所述内部气室包括：内部气室主体1、差分锥体2、差分锥体密封板3、镍管4、气体室密封法兰5，所述外部气室包括外部气室主体、中空差分管道6，腔体密封法兰9，真空波纹管10，波纹管密封法兰11。本发明首次提出了差分锥体的概念，通过差分锥体实现空间指向控制以及相位匹配调节；通过KF接口真空波纹管的方式在大气下直接移动三维位移台即可实现真空内气室的三维精密移动，在保证移动范围与精度的同时，降低了超高真空电动三维移动装置的高昂费用。
基本信息
专利标题 ：
高压差分束源气室及利用其产生高能极紫外光子的方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114545704A
申请号 ：
CN202210167335.7
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-02-23
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李铭轩罗嗣佐丁大军
申请人 ：
吉林大学
申请人地址 ：
吉林省长春市前进大街2699号吉林大学原子与分子物理研究所
代理机构 ：
北京律谱知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄云铎
优先权 ：
CN202210167335.7
主分类号 ：
G02F1/35
IPC分类号 ：
G02F1/35
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02F
用于控制光的强度、颜色、相位、偏振或方向的器件或装置，例如转换、选通、调制或解调，上述器件或装置的光学操作是通过改变器件或装置的介质的光学性质来修改的；用于上述操作的技术或工艺；变频；非线性光学；光学逻辑元件；光学模拟/数字转换器
G02F1/19
•• G02F1/015至G02F1/167不包括的基于可变的反射或折射元件的
G02F1/35
非线性光学
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : G02F 1/35
申请日 : 20220223
申请日 : 20220223
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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