碲锌镉探测器与碲锌镉探测器的栅极钝化方法
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摘要

本发明提供一种碲锌镉探测器与碲锌镉探测器的栅极钝化方法,所述碲锌镉探测器的栅极钝化方法包括:对制备有阳极的碲锌镉晶片的上表面进行光刻处理,在阳极的表面覆盖第一厚度的光刻胶层,将栅极露出;对碲锌镉晶片的上表面进行化学抛光处理,去除栅极的表面的富碲层,基于化学抛光的反应产物在栅极的表面形成高阻钝化层,并使得阳极的表面保留第二厚度的光刻胶层;其中,第一厚度大于或等于第二厚度,第二厚度大于零。本发明处理工艺简单,能够在保护阳极的前提下实现对栅极的钝化处理,可有效降低碲锌镉探测器的漏电流,实现在较高的偏压下对碲锌镉探测器进行能谱测试,确保碲锌镉探测器达到较高的能谱分辨率。

基本信息
专利标题 :
碲锌镉探测器与碲锌镉探测器的栅极钝化方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114242846A
申请号 :
CN202210174634.3
公开(公告)日 :
2022-03-25
申请日 :
2022-02-25
授权号 :
CN114242846B
授权日 :
2022-05-17
发明人 :
段志昱杨帆汤三奇盛丽娜贺琪贾宁波康丹妮席守智
申请人 :
陕西迪泰克新材料有限公司
申请人地址 :
陕西省咸阳市西咸新区秦汉新城周陵新兴产业园区天工一路东段8号-1
代理机构 :
北京路浩知识产权代理有限公司
代理人 :
沈军
优先权 :
CN202210174634.3
主分类号 :
H01L31/18
IPC分类号 :
H01L31/18  H01L31/119  C09G1/02  
法律状态
2022-05-17 :
授权
2022-04-12 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 31/18
申请日 : 20220225
2022-03-25 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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