本发明涉及镀膜设备技术领域，具体地说，涉及一种分区加热式扩散泵，其喷射塔内从外向内依次设置有第一喷射区、第二喷射区、第三喷射区、第四喷射区；所述喷射塔的底部设置有与四个喷射区分别相对应的加热装置，每个喷射区所对应的加热装置分别配置有可单独调整加热功率的调功器。通过改变加热功率调整各个喷射区的喷气压力，改变供气量，从而改变泵的特性；所有加热装置通过单独调整功率从而组合成各种泵的抽气状态，以适于不同使用条件，同时，可通过PLC控制或微处理器处理，根据功能调整至最佳状态，达到节能效果。