分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机

授权

摘要

本实用新型公开了一种分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机，分区加热的晶圆加热装置包括：发热支撑台、加热管、加热盘、至少两个热电偶、温控器，发热支撑台内限定有加热腔；加热管伸入加热腔以进行加热；加热盘贴合于发热支撑台且位于发热支撑台的上方，加热盘的上表面形成为加热面，加热盘接收加热管的热量并由加热面传递给晶圆，加热盘上设有至少两个加热区；至少两个热电偶分别设在至少两个加热区以检测每个加热区的温度；温控器与加热管和热电偶相连，温控器根据热电偶检测的温度控制加热管加热。该分区加热的晶圆加热装置及晶圆加热方法具有使晶圆受热均匀，加热过程平稳的优点。

基本信息

专利标题：

分区加热的晶圆加热装置、多工位点胶机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN202021418358.3

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2020-07-17

授权号：

CN212381419U

授权日：

2021-01-19

发明人：

周典虬杨健郜福亮林翔樊建曲东升李长峰

申请人：

常州铭赛机器人科技股份有限公司

申请人地址：

江苏省常州市武进区常武中路18号常州科教城哈工大铭赛科技大厦

代理机构：

常州至善至诚专利代理事务所(普通合伙)

代理人：

赵旭

优先权：

CN202021418358.3

主分类号：

H05B3/26

IPC分类号：

H05B3/26 H01L21/67 B05C5/02 B05C13/00