一种前驱体的输运装置以及半导体设备
公开
摘要
本发明涉及一种前驱体的输运装置以及半导体设备，其中，前驱体的输运装置包括液体输送部、汽化装置以及第一管路，其中，液体输送部用于输送前驱体，汽化装置用于将前驱体汽化，液体输送部与汽化装置的输入端连接，汽化装置的输出端通过第一管路连通至反应腔室的上盖板上的进气口，汽化装置与上盖板的相对位置保持不变。本发明能够降低前驱体蒸汽发生冷凝的风险，同时降低蒸汽管路暴露于大气所导致的被污染的风险。
基本信息
专利标题 ：
一种前驱体的输运装置以及半导体设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114607941A
申请号 ：
CN202210216890.4
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-07
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
项习飞田才忠余先炜王美玲
申请人 ：
盛吉盛半导体科技（北京）有限公司;盛吉盛（宁波）半导体科技有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区荣华南路15号院2号楼7层703室（北京自贸试验区高端产业片区亦庄组团）
代理机构 ：
北京市竞天公诚律师事务所
代理人 ：
陈果
优先权 ：
CN202210216890.4
主分类号 ：
F17D1/08
IPC分类号 ：
F17D1/08 F17D1/06 F17D3/01 F16L11/20 F16L53/30 F16L55/07 C23C16/448 C23C16/455 C23C16/52
IPC结构图谱
F
F部——机械工程；照明；加热；武器；爆破
F17
气体或液体的贮存或分配
F17D
管道系统；管路
F17D
管道系统；管路
F17D1/00
管道系统
F17D1/08
用于液体或黏性物质的
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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