本实用新型属于化学气相沉积领域，公开一种化学气相沉积前驱体输运系统。包括温度控制装置，进料瓶内置于温度控制装置中，进料瓶顶部设有进料口、进气口、抽气口、出料口，进料口与储料瓶连接，进气口与储气瓶连接，抽气口与真空泵连接，出料口连接有出料管，出料管一端插入进料瓶底部、另一端连接蠕动泵的进口，蠕动泵的出口连接混气室；混气室顶部连接有工艺气体管和输送管，工艺气体管的一端伸入混气室底部、另一端连接至工艺气体罐，输送管连至化学气相沉积室；储料瓶的底部高于进料瓶的顶部，进料瓶和混气室顶部各连有第一、第二压力表。本实用新型中进料瓶与混气室存在压差，通过蠕动泵实现对流体流速的控制，对前驱体输运量控制较为稳定。