一种高压喷嘴组件、高压喷嘴运动件、去胶腔体和去胶机
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种高压喷嘴组件、高压喷嘴运动件、去胶腔体和去胶机，所述高压喷嘴组件，由狭缝状喷嘴和柱状喷嘴组成，所述狭缝状喷嘴包括：狭缝状开口段和与其连通的狭缝状喷腔段，所述狭缝状开口段与所述狭缝状喷腔段位于所述狭缝状喷嘴内；所述狭缝状开口段的轴线与所述狭缝状喷腔段的轴线呈倾斜状设置；所述柱状喷嘴包括；柱状开口段和与其连通的柱状喷腔段，所述柱状开口段和所述柱状喷腔段位于所述柱状喷嘴内，所述柱状开口段的轴线与所述柱状喷腔段的轴线平行设置；其中，所述狭缝状喷腔段的轴线和所述柱状喷腔段的轴线平行设置。本发明解决晶圆上的胶和金属无法有效剥离的问题。
基本信息
专利标题 ：
一种高压喷嘴组件、高压喷嘴运动件、去胶腔体和去胶机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114308424A
申请号 ：
CN202210218015.X
公开（公告）日 ：
2022-04-12
申请日 ：
2022-03-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘晓龙朱松李嘉东
申请人 ：
宁波润华全芯微电子设备有限公司
申请人地址 ：
浙江省宁波市余姚市阳明街道新桥村村委东首
代理机构 ：
浙江中桓凯通专利代理有限公司
代理人 ：
李美宝
优先权 ：
CN202210218015.X
主分类号 ：
B05B1/04
IPC分类号 ：
B05B1/04 B05B15/68 B08B3/02 H01L21/67
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B05
一般喷射或雾化；对表面涂覆流体的一般方法
B05B
喷射装置；雾化装置；喷嘴
B05B1/00
带或不带辅助装置，例如阀、加热装置的喷嘴、喷头或其他出口
B05B1/02
适合于产生特殊形状或性质，如单独小滴的喷流，喷雾或其他排射
B05B1/04
平面形，如扇形，片形的
法律状态
2022-04-29 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : B05B 1/04
申请日 : 20220308
申请日 : 20220308
2022-04-12 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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