去胶机

专利权的终止

摘要

一种去胶机，具有加热部件和起模顶杆，所述加热部件具有加热板以及至少一个贯穿加热板的孔，起模顶杆在孔中贯穿移动，所述孔在加热板工作面一侧的孔径大于在加热板非工作面的孔径。使起模顶杆与加热部件摩擦产生的碎屑不会黏附在加热部件的表面，避免了现有技术中无法使晶圆水平放置在加热板上的缺陷，从而避免在去除光刻胶层的过程中在晶圆表面存在光刻胶层的残留。

基本信息

专利标题：

去胶机

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200620049450.0

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2006-12-25

授权号：

CN201004156Y

授权日：

2008-01-09

发明人：

林忠宝

申请人：

中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

申请人地址：

201203上海市浦东新区张江路18号

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司

代理人：

逯长明

优先权：

CN200620049450.0

主分类号：

G03F7/42

IPC分类号：

G03F7/42 G03F7/26 H01L21/027

IPC结构图谱

G部——物理

G03

摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术

G03F

图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备

G03F7/00

图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备

G03F7/26

感光材料的处理及其设备

G03F7/42

剥离或剥离剂

法律状态

2017-01-25 ：

专利权的终止

专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101700189651
IPC(主分类) : G03F 7/42
专利号 : ZL2006200494500
申请日 : 20061225
授权公告日 : 20080109
终止日期 : 无

2012-12-05 ：

专利申请权、专利权的转移

专利权的转移号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101481023316
IPC(主分类) : G03F 7/42
专利号 : ZL2006200494500
变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市浦东新区张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20121106

2008-01-09 ：

授权

注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。

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