一种基于多层异质复合陶瓷薄膜的高温绝缘层及制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明提供一种基于多层异质复合陶瓷薄膜的高温绝缘层及制备方法，该高温绝缘层包括合金基底；NiCoCrAlY过渡层，沉积形成于所述合金基底上；YSZ‑MgO中间层，沉积形成于所述NiCoCrAlY过渡层上；Al2O3原位生长结合层，形成于所述NiCoCrAlY过渡层与所述YSZ‑MgO中间层之间，所述Al2O3原位生长结合层通过原位生长方式形成；MgO绝缘层，沉积形成于所述YSZ‑MgO中间层上。本发明的复合绝缘层高温绝缘性能好、能实现发动机高温合金结构件的表面绝缘，为高温部件原位制备传感器件提供了可能。还具有工艺简便、厚度小、对被测场的影响小、制备成本低的特点。
基本信息
专利标题 ：
一种基于多层异质复合陶瓷薄膜的高温绝缘层及制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114540763A
申请号 ：
CN202210222854.9
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-03-09
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
张丛春王禹森杨伸勇吕振杰闫博
申请人 ：
上海交通大学
申请人地址 ：
上海市闵行区东川路800号
代理机构 ：
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
徐红银
优先权 ：
CN202210222854.9
主分类号 ：
C23C14/08
IPC分类号 ：
C23C14/08 C23C14/16 C23C14/46 C23C14/58
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/06
以镀层材料为特征的
C23C14/08
氧化物
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C23C 14/08
申请日 : 20220309
申请日 : 20220309
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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