声表面波滤波器的叉指电极及其制备方法、以及声表面波滤波器
公开
摘要
本发明的声表面波滤波器的叉指电极的制备方法包括如下步骤：在基板上形成由至少包括铝(Al)和铜(Cu)的合金构成的合金电极层，其中，在利用第一蒸发系统以规定的第一蒸镀速率将所述铝蒸镀到所述基板上的同时，利用第二蒸发系统以规定的第二蒸镀速率将所述铜蒸镀到所述基板上；以及将规定厚度的所述合金电极层形成为所述叉指电极的图案形状。
基本信息
专利标题 ：
声表面波滤波器的叉指电极及其制备方法、以及声表面波滤波器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114592172A
申请号 ：
CN202210229923.9
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-03-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
翁志坤
申请人 ：
广东广纳芯科技有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区（中新广州知识城）亿创街1号607房
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
俞丹
优先权 ：
CN202210229923.9
主分类号 ：
C23C14/30
IPC分类号 ：
C23C14/30 C23C14/26 C23C14/18 C23C14/58 C23C14/54 H03H9/145 C22C21/12
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/22
以镀覆工艺为特征的
C23C14/24
真空蒸发
C23C14/28
波能法或粒子辐射法
C23C14/30
电子轰击法
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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