声表面波滤波器及其制造方法
公开
摘要
本发明涉及一种声表面波滤波器及其制造方法，得到具有高品质因数、良好的TCF特性、低插入损耗以及寄生效应得以抑制的高性能的声表面波滤波器，并且能够实现工艺的简化以及成本的降低。本发明的声表面波滤波器具有一个以上的谐振器，该谐振器包括复合压电衬底，该复合压电衬底具有：基底层，该基底层由具有特定切型的石英晶体形成；及压电层，该压电层形成在基底层之上；以及叉指电极，该叉指电极形成在压电层之上,所述特定切型是从40°‑90°YX、40°‑90°Y90°X、以及40°‑90°Y50°X中选择得到的任一个切型。
基本信息
专利标题 ：
声表面波滤波器及其制造方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114614790A
申请号 ：
CN202210277682.5
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-03-21
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
许欣
申请人 ：
广东广纳芯科技有限公司
申请人地址 ：
广东省广州市黄埔区（中新广州知识城）亿创街1号607房
代理机构 ：
上海专利商标事务所有限公司
代理人 ：
邓晔
优先权 ：
CN202210277682.5
主分类号 ：
H03H9/02
IPC分类号 ：
H03H9/02 H03H9/64 H03H3/08
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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