一种薄膜型声表面波滤波器及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本申请涉提供一种薄膜型声表面波滤波器及其制备方法，该薄膜型声表面波滤波器，包括基底，至少包括第一区域和第二区域；其中，在所述第一区域上设置有第一功能层，在所述第二区域上设置有第二功能层，所述第一功能层的厚度与所述第二功能层的厚度不同；补偿结构，设置在所述第一区域对应的基底与第一功能层之间和/或设置在所述第二区域对应的基底与第二功能层之间，以补偿所述第一功能层和所述第二功能层之间的厚度差。通过本技术方案，在保证器件性能的同时，提高滤波器的集成度。本发明适用于高度集成的滤波器。
基本信息
专利标题 ：
一种薄膜型声表面波滤波器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114513189A
申请号 ：
CN202210140561.6
公开（公告）日 ：
2022-05-17
申请日 ：
2022-02-16
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
赵娟田熙
申请人 ：
成都芯仕成微电子有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市高新区天映路11号3栋20层2003号
代理机构 ：
成都虹桥专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
吴中伟
优先权 ：
CN202210140561.6
主分类号 ：
H03H9/64
IPC分类号 ：
H03H9/64 H03H9/02 H03H3/08
法律状态
2022-06-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H03H 9/64
申请日 : 20220216
申请日 : 20220216
2022-05-17 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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