一种铱配合物衍生物、制备方法及其应用
公开
摘要

本发明涉及光刻胶技术领域,涉及一种铱配合物衍生物、制备方法及其应用。本发明借助香豆素衍生物高摩尔吸收系数的性质,引入金属重原子铱原子加强其分子内的系间窜越,通过激发三重态,进而引发与共引发剂有效的发生电子转移,改变了光刻胶的敏感波长,并提高了光酸的产率,改善光刻胶组合物中的光敏性,进一步增强光刻胶的灵敏度、单体的交联能力、光刻胶的线宽粗糙度、分辨率、成膜能力。

基本信息
专利标题 :
一种铱配合物衍生物、制备方法及其应用
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114573641A
申请号 :
CN202210263819.1
公开(公告)日 :
2022-06-03
申请日 :
2022-03-17
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
赵建章温宇东霍延平籍少敏
申请人 :
大连理工大学
申请人地址 :
辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
代理机构 :
大连理工大学专利中心
代理人 :
温福雪
优先权 :
CN202210263819.1
主分类号 :
C07F15/00
IPC分类号 :
C07F15/00  G03F7/004  G03F7/027  
IPC结构图谱
C
C部——化学;冶金
C07
有机化学
C07F
含除碳、氢、卤素、氧、氮、硫、硒或碲以外的其他元素的无环,碳环或杂环化合物
C07F15/00
含周期表第8、9、10或18族元素的化合物
法律状态
2022-06-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
  • 联系电话
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 联系 Q Q
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 关注微信
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332
  • 收藏
    电话:023-6033-8768
    QQ:1493236332