一种晶圆双功率切割方法及光路装置
实质审查的生效
摘要

本发明公开了一种晶圆双功率切割方法,步骤1、通过双口激光器发射出激光A;步骤2、激光A通过两个不同的激光功率转换器,将激光A转换成功率各不相同的激光B和激光C;步骤3、激光B和激光C分别通过两个光闸装置,两个光闸装置均用于对激光的放行与关闭;步骤4、激光B和激光C再分别通过两个扩束装置分别扩束;步骤5、扩束后的激光B和激光C均通过转向光腔组件完成转向;步骤6、转向后的激光B和激光C均通过光路汇合光腔组件汇合在一起;步骤7、汇合后的激光B和激光C通过出光光腔组件位于同一位置出光;本发明,激光在经过分光后对两个光路进行开闭调控,可以按要求提供不同功率的出光,适用于晶圆的隐切需求。

基本信息
专利标题 :
一种晶圆双功率切割方法及光路装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114425650A
申请号 :
CN202210268471.5
公开(公告)日 :
2022-05-03
申请日 :
2022-03-18
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
叶宗辉周建红
申请人 :
深圳市圭华智能科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市龙华区大浪街道大浪社区同富屯工业区98号101
代理机构 :
深圳宏创有为知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
黄培琪
优先权 :
CN202210268471.5
主分类号 :
B23K26/064
IPC分类号 :
B23K26/064  B23K26/38  
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B23
机床;其他类目中不包括的金属加工
B23K
钎焊或脱焊;焊接;用钎焊或焊接方法包覆或镀敷;局部加热切割,如火焰切割;用激光束加工
B23K26/00
用激光束加工,例如焊接、切割、或打孔
B23K26/02
工件的定位和观测,如相对于冲击点;激光束的对正、瞄准或聚焦
B23K26/06
激光束的成形,例如,利用掩膜或多次聚焦
B23K26/064
通过光学元件装置的,例如透镜,反射镜,棱镜
法律状态
2022-05-20 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : B23K 26/064
申请日 : 20220318
2022-05-03 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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