谐振扫描角度检测光学系统及方法
公开
摘要
本发明公开了一种谐振扫描角度检测光学系统及方法，光学系统包括光源、光阑、汇聚元件和光电器件，光源用于向待测扫描镜发出光，光阑使待测扫描镜的反射光通过，使反射光入射到汇聚元件，汇聚元件用于将待测扫描镜的反射光汇聚至光电器件，光电器件基于接收到的光产生响应信号；其中，光阑满足在待测扫描镜的一个谐振周期内，至少两次待测扫描镜的反射光通过光阑而入射到汇聚元件。应用本发明的谐振扫描角度检测光学系统，可以测量待测扫描镜的角度幅值，从而获得描述待测扫描镜角度随时间变化的关系式，本光学系统结构简单，对光学系统各部件的安装精度要求低。
基本信息
专利标题 ：
谐振扫描角度检测光学系统及方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114593694A
申请号 ：
CN202210269128.2
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-03-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
雷健王敬车凯
申请人 ：
烟台艾睿光电科技有限公司
申请人地址 ：
山东省烟台市烟台开发区贵阳大街11号
代理机构 ：
北京集佳知识产权代理有限公司
代理人 ：
李秋梅
优先权 ：
CN202210269128.2
主分类号 ：
G01B11/26
IPC分类号 ：
G01B11/26 G01S7/48
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/26
•用于计量角度或锥度；用于检测轴线准直
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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