一种大孔径有限回转的DD马达
公开
摘要
本发明公开了一种大孔径有限回转的DD马达，包括电机转子，所述电机转子的外侧套设有电机外壳，所述电机转子与所述电机外壳之间设置有安装区域，所述安装区域内设置有若干个连接组件，所述安装区域内位于两个连接组件之间设置有光栅尺组件，所述电机转子的外侧中部位置上设置有永久磁铁，所述永久磁铁的外侧套设有电机线圈，所述电机线圈的外侧套设有定子磁筒。本发明的有益效果是，本技术方案提供的大孔径有限回转的DD马达，结构设计巧妙，实用性较强，且运行稳定性高，使用寿命长，运用此大孔径有限回转的DD马达，满足了晶圆加工过程中的定位要求，提高了晶圆加工过程中定位的精度，降低了晶圆加工的成本，此外，也提高了晶圆加工的效率。
基本信息
专利标题 ：
一种大孔径有限回转的DD马达
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114598110A
申请号 ：
CN202210272720.8
公开（公告）日 ：
2022-06-07
申请日 ：
2022-03-18
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
金朝龙
申请人 ：
苏州天弘激光股份有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市工业园区唯亭镇通和路66号
代理机构 ：
苏州言思嘉信专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
刘巍
优先权 ：
CN202210272720.8
主分类号 ：
H02K11/22
IPC分类号 ：
H02K11/22 H02K1/274 H02K5/04
法律状态
2022-06-07 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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