本发明公开了一种氢气循环还原制备高纯纳米ZnO的装置及方法，装置包括底板为第一多孔板的还原炉、外侧设有加热器的固液分离与汽化炉、余热回收器和氧化仓；还原炉连接有进料仓，第一多孔板下部设有氢气仓；固液分离与汽化炉包括与还原炉相连且侧壁为第二多孔板的内部转筒，固液分离与汽化炉的内壁与第二多孔板之间构成夹层；余热回收器内设有与内部转筒相连的余热回收仓；氧化仓分别和夹层、纳米氧化锌冷凝收集器及水蒸气冷凝器相连，水蒸气冷凝器上连接有与余热回收器相连的冷凝水再热管道及与氢气仓连接的氢气回收管道及与还原炉连接的氢气水蒸气输送管道；余热回收器上连接有水蒸气再生回收管道。本发明流程短、能耗低，制备的纳米ZnO纯度高。