一种平面平晶检定装置及检定方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种平面平晶检定装置及检定方法,包括被测平晶,被测平晶的底部设置有标准平晶,被测平晶的顶部设置有准直物镜,准直物镜的左上方设置有挡板,挡板上开设有小孔,挡板的侧面设置有光纤激光,挡板的右侧设置有第一反射镜,准直物镜的正上方设置有第二反射镜,光纤激光的激光前方设置有分光镜,分光镜的右侧设置有CCD相机;本发明通过采用了平面等厚干涉的方法,通过相机采集被测平晶与标准平晶的干涉图样,以及采用自行搭建的平面度算法,完成被测平晶的检定,同时可并行检定多个被测平晶的平面度,提高检定效率。
基本信息
专利标题 :
一种平面平晶检定装置及检定方法
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114459395A
申请号 :
CN202210311984.X
公开(公告)日 :
2022-05-10
申请日 :
2022-03-28
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
张志庭郑剑峰刘晓峰黄晓川李黎明刘苗谢贤梅
申请人 :
深圳众庭联合科技有限公司
申请人地址 :
广东省深圳市南山区粤海街道高新区社区高新南七道018号高新工业村R3-B座215
代理机构 :
深圳叁众知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
杜立光
优先权 :
CN202210311984.X
主分类号 :
G01B11/30
IPC分类号 :
G01B11/30
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01B
长度、厚度或类似线性尺寸的计量;角度的计量;面积的计量;不规则的表面或轮廓的计量
G01B11/275
••用于检测轮子准直度
G01B11/30
用于计量表面的粗糙度和不规则性
法律状态
2022-05-27 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01B 11/30
申请日 : 20220328
申请日 : 20220328
2022-05-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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