一种柔性运动台及载台系统
公开
摘要
本发明提供了一种柔性运动台及载台系统，属于高精机台领域，柔性运动台包括承载梁、端接头、气浮地脚、侧端气浮垫、侧端刹车垫、横向直线电机、纵向直线电机、距离传感器和偏移限位组件，横向直线电机和纵向直线电机用以在平面内驱动承载梁；多个距离传感器设置在端接头上，用以监测承载梁的位置；载台系统包括机架、侧边梁、晶圆载台、摩擦传动机构、X轴横梁、X轴驱动组、Y轴驱动组和消反力组件；柔性运动台被柔性支撑在机架和两个侧边梁之间；通过本申请的柔性运动台及载台系统，能够精确的柔性支撑、监测和调节承载梁的空间位置，保证载台系统的精度和稳定性，便于在带有运动台的半导体量检测、高精加工领域中推广应用。
基本信息
专利标题 ：
一种柔性运动台及载台系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114619411A
申请号 ：
CN202210318967.9
公开（公告）日 ：
2022-06-14
申请日 ：
2022-03-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
不公告发明人
申请人 ：
苏州矽行半导体技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市高新区培源路2号微系统园2号楼106室
代理机构 ：
北京千壹知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
王玉玲
优先权 ：
CN202210318967.9
主分类号 ：
B25H1/02
IPC分类号 ：
B25H1/02 B25H1/10 B25B11/00
IPC结构图谱
B
B部——作业；运输
B25
手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手
B25H
车间设备，例如用于工件划线；车间储存设备
B25H1/00
工作台；用于放置轻便工具或工件的轻便台座或支架，在台座或支架上操作工作
B25H1/02
桌式的
法律状态
2022-06-14 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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