一种运动台及运动装置
公开
摘要
本发明属于集成电路制备领域，具体公开了一种运动台及运动装置。运动台包括基座、Y向导轨组件、X动台、X向导轨组件、X向直线电机、Y向驱动装置、安装座、气足以及第一柔性件，第一柔性件包括气足连接部、座连接部以及滑块连接部，气足连接部与座连接部之间连接有第一柔性部，座连接部与滑块连接部之间连接有第二柔性部，第二柔性部在Z方向具有柔性，在X方向和Y方向具有刚性，第一柔性部在Rz方向具有柔性，在其余方向具有刚性，气足连接部与气足连接，座连接部与安装座连接，滑块连接部与X向滑块连接。运动装置包括上述的运动台。本发明公开的运动台及运动装置，不仅能够实现X和Y方向的运动，还允许在Rz方向的小角度旋转运动。
基本信息
专利标题 ：
一种运动台及运动装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114613721A
申请号 ：
CN202210500556.1
公开（公告）日 ：
2022-06-10
申请日 ：
2022-05-10
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
吴火亮江旭初禹洪亮
申请人 ：
上海隐冠半导体技术有限公司;苏州隐冠半导体技术有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区金海路1000号47幢1楼
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
汪莉萍
优先权 ：
CN202210500556.1
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2022-06-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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