一种运动台及控制系统
实质审查的生效
摘要
本发明涉及一种运动台及控制系统。该运动台包括基座、Y向运动台和2组Y向直线电机，还包括X向运动台和2组X向直线电机，所述２组X向直线电机设置在所述Y向运动台上，且２组X向直线电机对称设置在所述X向运动台的两侧，每组X向直线电机的动子与X向运动台相连。该运动台有利于避免X向运动台连同上方的运动机构发生不必要的Ry方向的旋转。
基本信息
专利标题 ：
一种运动台及控制系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114551317A
申请号 ：
CN202210118119.3
公开（公告）日 ：
2022-05-27
申请日 ：
2022-02-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
罗岩谢扬陆海亮李伟民约翰纳斯·雅各布斯·格尔曼娜·玛丽亚·杜伊斯特田丹女
申请人 ：
江苏集萃苏科思科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省苏州市相城区南天成路99号紫光大厦(启迪大厦)18楼
代理机构 ：
苏州通途佳捷专利代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
翁德亿
优先权 ：
CN202210118119.3
主分类号 ：
H01L21/68
IPC分类号 ：
H01L21/68 H01L21/66 H02K7/06
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/68
用于定位、定向或对准的
法律状态
2022-06-14 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/68
申请日 : 20220208
申请日 : 20220208
2022-05-27 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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