一种微动台及运动装置
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摘要

本发明公开了一种微动台及运动装置,涉及精密运动技术领域。微动台包括中间座、固定基座、承载台、水平驱动装置、垂向驱动装置和重力补偿装置,中间座底部具有容纳槽;固定基座位于容纳槽中,容纳槽的槽底和/或固定基座上开设有避让孔;承载台安装于中间座的上方;水平驱动装置为压电驱动装置并设置于避让孔中;垂向驱动装置为压电驱动装置,位于容纳槽的周向外侧且下端伸入并安装于中间座的内部;重力补偿装置的下端伸入中间座中并位于容纳槽的周向外侧,重力补偿装置的上端伸出中间座的上端面并与承载台连接。本发明通过重力补偿装置有效解决载重问题,且扁平化设计,降低了整体装置的高度,使结构更为紧凑。

基本信息
专利标题 :
一种微动台及运动装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114123852A
申请号 :
CN202210082962.0
公开(公告)日 :
2022-03-01
申请日 :
2022-01-25
授权号 :
CN114123852B
授权日 :
2022-05-13
发明人 :
郝凌凌王振华
申请人 :
上海隐冠半导体技术有限公司
申请人地址 :
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区金海路1000号47幢1楼
代理机构 :
北京品源专利代理有限公司
代理人 :
吴萌
优先权 :
CN202210082962.0
主分类号 :
H02N2/02
IPC分类号 :
H02N2/02  H02N2/04  B25J9/00  
法律状态
2022-05-13 :
授权
2022-03-18 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : H02N 2/02
申请日 : 20220125
2022-03-01 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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