氧化铝抛光液及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明涉及抛光液技术领域，具体而言，涉及氧化铝抛光液及其制备方法；氧化铝抛光液的制备原料包括：氧化铝微粉、α萘酚聚氧乙烯醚、多元醇、羧酸钠盐、消泡剂和pH调节剂；其中，pH调节剂包括有机碱和无机碱的复配混合物。本发明的氧化铝抛光液的制备方法包括：向用多元醇配置的溶液中添加羧酸钠盐；再添加氧化铝微粉；再添加α萘酚聚氧乙烯醚和消泡剂。本发明的氧化铝抛光液有利于得到表面质量较好的碳化硅晶片。
基本信息
专利标题 ：
氧化铝抛光液及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114456718A
申请号 ：
CN202210324896.3
公开（公告）日 ：
2022-05-10
申请日 ：
2022-03-29
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
邹兴蔡文必林武庆
申请人 ：
湖南三安半导体有限责任公司
申请人地址 ：
湖南省长沙市高新开发区长沙岳麓西大道2450号环创园B1栋2405房
代理机构 ：
北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
姚大雷
优先权 ：
CN202210324896.3
主分类号 ：
C09G1/02
IPC分类号 ：
C09G1/02
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C09
染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09G
抛光组合物；滑雪屐蜡
C09G1/00
抛光组合物
C09G1/02
含有磨料或研磨剂
法律状态
2022-05-27 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : C09G 1/02
申请日 : 20220329
申请日 : 20220329
2022-05-10 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
