一种晶圆玻璃粉擦除装置
实质审查的生效
摘要
本申请提供一种晶圆玻璃粉擦除装置，属于制造半导体的设备领域，装置包括：存纸筒、取纸机构、夹持机构以及旋转吸盘。存纸筒用于堆叠存放滤纸。取纸机构包括吸纸管，用于取出存纸筒内的滤纸，吸纸管沿竖直方向升降。夹持机构包括防尘罩，防尘罩内部设有相对移动的两块夹板，用于压紧对折后的滤纸，防尘罩沿水平方向移动设置，存纸筒位于防尘罩移动方向的一端下方。旋转吸盘用于固定晶圆，并使晶圆旋转，旋转吸盘设于防尘罩移动方向的另一端下方。有较高的工作效率，可保证晶圆各处的擦除效果一致，同时可避免粉尘污染。
基本信息
专利标题 ：
一种晶圆玻璃粉擦除装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114446840A
申请号 ：
CN202210365972.5
公开（公告）日 ：
2022-05-06
申请日 ：
2022-04-08
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
冯永胡仲波冯艾诚李健儿蒋红全周建余
申请人 ：
四川上特科技有限公司
申请人地址 ：
四川省遂宁市射洪县河东大道88号
代理机构 ：
成都诚中致达专利代理有限公司
代理人 ：
杨春
优先权 ：
CN202210365972.5
主分类号 ：
H01L21/67
IPC分类号 ：
H01L21/67 B08B1/02 B08B13/00
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
法律状态
2022-05-24 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01L 21/67
申请日 : 20220408
申请日 : 20220408
2022-05-06 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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