一种带增益耦合光栅的DFB激光器及其制备方法
实质审查的生效
摘要
本发明公开了一种带增益耦合光栅的DFB激光器及其制备方法，其中激光器包括：依次层叠设置的衬底、第一半导体层、有源层、第二半导体层、隧道结光栅以及第三半导体层；隧道结光栅包括沿平行于有源层的方向依次交替设置的隧道结部和填充部；其中，第二半导体层和第三半导体层通过隧道结部电连接，隧道结光栅可形成有源层的周期性分段式载流子注入，形成增益耦合光栅的效果；第一半导体层的掺杂离子的类型与第三半导体层的掺杂离子的类型相同，与第二半导体层的掺杂离子的类型相反。本发明提供的技术方案提高了DFB激光器单模良率的同时，保证了单结激光器的量子效率和可靠性。
基本信息
专利标题 ：
一种带增益耦合光栅的DFB激光器及其制备方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114498295A
申请号 ：
CN202210381928.3
公开（公告）日 ：
2022-05-13
申请日 ：
2022-04-13
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
李善文李辉杰牛守柱李含轩
申请人 ：
常州纵慧芯光半导体科技有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市武进国家高新技术产业开发区凤翔路7号
代理机构 ：
北京品源专利代理有限公司
代理人 ：
李礼
优先权 ：
CN202210381928.3
主分类号 ：
H01S5/12
IPC分类号 ：
H01S5/12 H01S5/343 H01S5/02
法律状态
2022-05-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01S 5/12
申请日 : 20220413
申请日 : 20220413
2022-05-13 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
