一种动态聚焦扫描振镜系统的优化方法及光路结构
公开
摘要
本发明提供了一种动态聚焦扫描振镜系统的优化方法及光路结构。所述优化方法对动态聚焦扫描振镜系统进行了一体式考虑,模拟动态聚焦镜和两轴振镜的不同工作状态,评价在不同工作状态下系统聚焦光斑的质量,并从整体角度对系统进行优化。所述光路结构包含第一透镜、第二透镜、X轴振镜、Y轴振镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜;第一透镜为双凹型负透镜,第二透镜为双凸型正透镜,X轴振镜和Y轴振镜为平面反射镜,第三透镜为双凹型负透镜,第四透镜为弯月型正透镜,第五透镜为弯月型正透镜,第六透镜为双凸型正透镜,本发明能够提升动态聚焦扫描振镜系统在工作区域内聚焦光斑的圆度,提升了聚焦光斑的质量。
基本信息
专利标题 :
一种动态聚焦扫描振镜系统的优化方法及光路结构
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN114609778A
申请号 :
CN202210384792.1
公开(公告)日 :
2022-06-10
申请日 :
2022-04-13
授权号 :
暂无
授权日 :
暂无
发明人 :
肖荣诗苏坤黄婷
申请人 :
北京工业大学
申请人地址 :
北京市朝阳区平乐园100号
代理机构 :
北京睿派知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 :
刘锋
优先权 :
CN202210384792.1
主分类号 :
G02B27/00
IPC分类号 :
G02B27/00 G02B26/10 G02B27/09
IPC结构图谱
G
G部——物理
G02
光学
G02B
光学元件、系统或仪器附注
G02B27/00
不能分入G02B 1/00-G02B 26/00,G02B 30/00的其它光学系统或其它光学仪器
法律状态
2022-06-10 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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